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產品詳情
簡單介紹：
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。 多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。 選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。
詳情介紹：
BPG400 大氣壓至超高真空真空計
BPG402-SX大氣壓至超高真空真空計
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。 多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。 選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。
益處
- 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
- 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
- 皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
- 使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
- RoHS 合規
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
典型應用
- 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
