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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。**數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整。
詳情介紹：
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。**數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性（包括氣壓突變的情況），預(yù)期使用壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)。獨(dú)有的傳感器屏蔽（磚利申請中）可防止儀表被過程污染。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D 為開機(jī)后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。
好處
1，從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
2，電源接通后快速穩(wěn)定
3，暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
4，防腐蝕陶瓷傳感器
5，超卓的長期信號穩(wěn)定性
6，溫度補(bǔ)償
7，傳感器受雙重防污染保護(hù)
8，一鍵調(diào)零功能
9，寬范圍電源
10，2個設(shè)定點
11，RS232 接口
12，無塵室合規(guī)
典型應(yīng)用
1，用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備
2，數(shù)據(jù)存儲和顯示器制造設(shè)備
3，工業(yè)真空設(shè)備
4，經(jīng)濟(jì)、高度精準(zhǔn)的壓力測量
